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Epitaxie

Die Hauptanwendung der Epitaxie findet sich vor allem in der Halbleitertechnik. Dabei werden Plustherm Induktionsgeneratoren für das homogene Erwärmen eingesetzt. Eine homogene Erwärmung durch Induktionserwärmung garantiert ein korrektes aufwachsen der kristallinen Schichten auf die Substrate.   

Hauptvorteil der Induktionsheizung: 
- Rasche Betriebsbereitschaft
- Ökologischer als  herkömmliche Systeme.
- genaue Temperaturkontrolle
- Hohe Reproduzierbarkeit

Zubehör:
-Pyrometer 0-3000°C
-SPS/PLC Anbindung
-Kühlgerät
-Datenschnittstellen
-Schulung
-Montage und Inbetriebnahme vor Ort durch Plustherm Techniker
-Abgesetzter Schwingkreis bis 30m Entfernung zwischen Generator und Erwärmungsstelle.